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垂直移動ステージ EJW11-40 Z軸リニアステージ オリジナル
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ミクロン単位の精密調整 モジュール式スタック設置 コンパクトで薄型の構造 全ストロークにわたる過負荷保護 高剛性・転倒防止設計
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